全新半導體工業檢測產品——AWL系列晶圓檢查系統,兼具穩定性和安全性,能夠安全可靠的傳送晶圓,適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
主要技術參數:
型號 |
AWL046 |
AWL068 |
AWL812 |
晶圓尺寸 |
100mm / 150mm |
150mm / 200mm |
200mm / 300mm |
晶圓最小厚度 |
150um |
150um / 180um |
180um / 250um |
晶舟類型 |
Open Cassette |
Open Cassette / FOUP、FOSB |
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檢查模式設置 |
全檢 / 奇數檢 / 偶數檢 / 手動選擇 |
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晶舟掃描(有 / 無 / 斜片) |
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晶舟內凸片偵測報警 |
≥4mm |
≥5mm |
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晶圓預定位(平邊、Notch) |
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朝向設置(平邊、Notch) |
非接觸式定位平邊、Notch,支持0°、90°、180°、270°朝向設置 |
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檢查功能 |
晶面宏檢(旋轉)、晶背宏檢1(外圈、旋轉)、晶背宏檢2(中心) |
晶面宏檢(旋轉)、晶背宏檢1(外圈)、晶背宏檢2(中心) |
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外觀尺寸(W*D*H) |
1450*700*1600mm |
1550*700*1600mm |
2400*1400*2450mm |
電源需求 |
1P / 220V / 10A |
1P / 220V / 16A |
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真空需求(負壓 / 正壓) |
-70KPA ~ -80KPA |
-70KPA ~ -80KPA / 0.5MPA |
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適用顯微鏡 |
6RC/8RC金相顯微鏡 |
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光學系統 |
無限遠色差校正光學系統,放大倍率50X-1000X |
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觀察方式 |
明場、暗場、偏光、DIC |
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目鏡 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X22mm,可帶視度可調,可帶測微尺 |
高眼點大視野平場目鏡PL10X25mm,可帶視度可調,可帶測微尺 |
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觀察頭 |
鉸鏈三目觀察筒,5-35度傾角可調,正像,瞳距調節范圍:50-76mm,兩檔式分光比,雙目:三目=100:0,0:100 |
鉸鏈三目觀察筒,0-35度傾角可調,正像,瞳距調節范圍:50-76mm,兩檔式分光比,雙目:三目=100:0,0:100 |
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物鏡 |
長工作距平場明暗場半復消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X |
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轉換器 |
明暗場6孔電動轉換器(帶DIC插槽) |
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機架 |
反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構,粗調行程35mm,微調精度0.001mm,帶有防止下滑的松緊調節裝置和隨機上限位裝置,內置100-240V寬電壓系統 |
明暗場反射照明器,帶視場光闌,可變電動孔徑光闌,帶明暗場切換裝置,帶濾色片插槽與偏光裝置插槽,帶12V10W LED光源控制部件 |
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明暗場反射照明器,帶視場光闌,可變電動孔徑光闌,帶明暗場切換裝置,帶濾色片及偏光裝置插槽,帶12V10W LED燈箱 |
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載物臺 |
6英寸機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節,晶圓承片臺臺面φ38mm,可360°旋轉,移動行程228mm(X方向)×170mm(Y方向),觀察范圍:170mmX170mm,帶離合器手柄 |
8英寸機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節,晶圓承片臺臺面φ60mm,可360°旋轉,移動行程280mm(X方向)×210mm(Y方向),觀察范圍:210mm×210mm,帶離合器手柄 |
12英寸自動平臺,X、Y、Z、φ多方向調節,晶圓承片臺臺面φ70mm,可360°旋轉,移動行程600mm(X方向)×500mm(Y方向),觀察范圍:310mm×310mm,φ方向可±5度旋轉,各軸運動速度可以高低速切換 |
其他 |
濾色片插板、起/檢偏鏡插板、DIC組件、攝像接口、調整平臺、相機、專業晶圓檢查軟件等 |